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IGZO 靶材 In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:1 at%

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  • 氧化铟镓锌 靶材

产品名称：氧化铟镓锌 靶材

纯度：99.99%

溅射方式：射频溅射

注意事项：靶材表面如果会发黑，或是因为有In析出，尤其是氧气一少更容易发黑，因为In是+2价的，建议溅射过程中补入氧气


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